氣體質量流量控製器（MFC）與氣體質量流量計（MFM）

2012年5月22日 - MFC是帶有控製氣體質量流量的裝置，而MFM是不具有控製氣體質量流量功能的裝置。 MFC為Mass Flow Controller的縮寫，即質量流量控製。

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