氣體供應系統 Gas Delivery System (GDS)

特氣分流閥箱/ VMB 特氣分流閥箱VALVEMANIFOLD BOX。為一個將特殊氣體分配盤安裝於箱體內的設計，主要用途為連接來自氣瓶櫃或大流量特氣分流箱的管路，調整壓力及流量後，分流出去給設備使用。具有抽氣、氮氣沖吹及排氣等安全功能。

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