殘留氣體分析儀在真空設備之應用__臺灣博碩士論文知識加值系統

摘要殘留氣體分析儀(簡稱RGA ；Residual Gas Analyzer)被應用於真空領域已超過 三十多年，早期它們的角色僅在於真空測漏、故障原因分析，近年來由於電腦資訊 ...

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