歡迎光臨~奈米實驗教學網--奈米球之乾式蝕刻

乾式蝕刻簡介 所謂的乾蝕刻 ，主要是利用電漿 (Plasma)，而非濕式的溶液來對薄膜進行侵蝕的一種技術，因為蝕刻反應不涉及溶液，所以稱之為乾式蝕刻。其主要優點是蝕刻為非等向性，亦即垂直方向的速率遠大於橫向的速率 ...

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