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奈米球之乾式蝕刻 實驗目的‖實驗器材‖ 實驗原理 ‖ 實驗方法及步驟 ‖ 實驗結果 一. 實驗目的： 氧電漿如何蝕刻有機材料 二. 實驗儀器： 1. 矽基板及 500nm 球溶液 2.

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