橢圓偏光儀之原理與應用 - 國研院儀科中心 - 國家實驗研究院

2007年5月7日 - 橢圓偏光術是一種非接觸式、非破壞性、以光學技術量測薄膜表面特性的方法。其量測原理係運用光在兩層薄膜間的介面或薄膜中發生的現象及其 ...

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