四甲基矽烷- 維基百科，自由的百科全書 - Wikipedia

四甲基矽烷是矽和氯甲烷反應製備氯代甲基矽烷（包括氯代三甲基矽烷，二氯代二甲 基矽烷和三氯代甲基矽烷）的副產物。另外，它還是化學氣相沉積中二氧化矽或碳化 ...

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