材料世界網:高溫快速熱退火技術於AM-OLED TFT-Array 之應用

在目前製作低溫多晶矽薄膜電晶體(LTPS-TFT)元件當中，多晶矽薄膜的製作技術以準分子雷射退火最為廣泛的使用。準分子雷射退火所形成多晶矽薄膜，應用在薄膜電晶體液晶顯示器上具有非常優越之性能；但是應用在主動式

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