晶圓針測探針之接觸電阻量測方法與失效分析__臺灣博碩士論文知識 ...

本研究建立了接觸電阻量測實驗和探針多次針測實驗；其中接觸電阻的量測實驗可以 針對晶圓上不同銲墊材料如：鋁、金、銅 ...

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