晶圓廠超純水系統再生廢水回收技術研究- 《半導體科技．先進 ...

#F#圖二：晶圓廠超純水系統流程圖 以陰陽離子交換樹脂塔(2B3T)為例： (1) S.C樹脂塔通水時間及操作容量原廠設計通水時間為16hr樹脂塔需再生，而再生需耗用 ...

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