旋轉塗佈的原理和用途- Yahoo!奇摩知識+

旋轉塗佈(Spin Coating)： 旋轉夾盤(spin chuck)利用真空吸住玻璃基板後，將化學 物質（像半導體或TFT廠用光阻）由上方噴嘴(Nozzle)滴在玻璃或晶圓片上， ...

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