1. 旋轉塗佈手指狀不穩定之控制. 主持人：周復初博士. 計畫編號：NSC 94-2212-E- 008 -019. 一、前言. 旋轉塗佈之原理是利用馬達. 帶動一轉盤，吸附著晶圓進行旋.
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