新型CMOS 全差動出平面加速度計 - 微感測器與致動器產學聯盟

濕蝕刻CMOS 後製程使本元件上下電極間之電容感測間距僅有次微米之尺度，因此感測電容. 量會因為次微米之 .... 合後之製程流程圖如圖9 所示，標準的. CMOS 製程  ...

www.usat.org.tw