新型精練冶金級矽太陽電池技術(PERL、SHJ-IBC)研究與開發

二、基板清洗步驟. .... 矽基板（UMG-Si）和CZ-Si，利用AP-MOCVD法於不同條件下 沉積氧化鋁薄膜，並. 試圖找尋沉積後最佳熱處理之條件，希望得到品質較佳的氧化 ...

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