グロー放電発光分析装置(GD-OES) | 表面分析 | 分析機能と原理 | 株式会社東レリサーチセンター | TORAY

分析、物性評価、解析を受託しています。 ... GD-OES(Glow discharge optical emission spectrometry )はAr グロー放電領域内で導電性、非導電性膜を高周波スパッタリングし、スパッタされた原子のAr プラズマ内における発光線を連続的に分光することにより、薄膜 ...

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