掃描探針顯微鏡之發展 - 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌

"劉有台 / 工研院化學工業研究所 掃描探針顯微鏡技術(Scanning Porbe Microscopy，SPM)具有可分析微米結構以下之能力，其解析能力可到原子、奈米及分子尺寸上。掃描 ...

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