掃描探針顯微鏡 - 維基百科，自由的百科全書

掃描探針顯微鏡 （ Scanning probe microscopy ， SPM ）是所有機械式地用 探針 在 樣本 上掃描移動以探測樣本 影像 的 顯微鏡 的統稱。其影像 解析度 主要取決於探針的大小〔通常在 奈米 的範圍〕。 掃描隧道顯微鏡 是第一個被發明的掃描探針顯微鏡〔1981年〕。

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