微振動量測與檢測 振動有大小不同之分別,人無法感受的微振動只有靠精密量測儀器才可以測得到。高科技產業對於微振動的要求高於平常的環境標準,例如在半導體的製程朝40奈米(nm)進展時,日本已訂出在頻率 5~60 Hz的精密裝置其位移須 ...
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