... 催化性 介電性 保護性 抗反射 溶劑揮發 溶膠凝膠製程及產物 加熱 奈米粉體 成型 揮發 旋轉塗佈法示意圖 旋轉塗佈法是將試片置於機台圓盤中心處,利用幫浦抽氣將試片固定於圓盤上,將適量之溶膠滴附於試片中心,藉由機台旋轉產生的加速 ...
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