投影片 1 - 中州科技大學Chung Chou University of Science and Technology

... 塗佈法 電鍍法 CVD薄膜沉積 CVD法形成膜的原理簡單示於下圖。 將反應氣體A，B送入反應室後，於氣相中進行反應，也就是在表面或表面附近進行反應，形成膜C。 進行這樣的反應，必須跨越A+B ...

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