引言. ➢ SIMS原理. ➢ AES原理. ➢ ESCA原理. ➢ Summary. Speaker:尤志州 ... 電子 能譜化學分析儀(Electron Spectroscopy for Chemical Analyzer;ESCA) or. Al之K α .... 電子能量分析器(electronic energy analyzer) ⇒ 光譜能量解析度. AES簡圖.
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