投影式掃描曝光機 - SUSS MicroTec

投影式掃描曝光機. 與近接式微影可一次完成整片晶圓曝光的技術不同，投影式微影 的製程則是以投影鏡組分區段個別投影的方式來完成曝光。因此整個晶圓的曝光是 ...

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