技術情報：一種在矽基板上成長單晶氮化鎵之製程技術

... 能有效消除矽與氮化鎵之間的晶格不匹配度，並進而取代藍寶石基板與碳化矽基板，如此一來，可同時確保氮化鎵元件之品質與大幅降低製造成本，且根據本專利所製成之結構為：氮化鎵/氮碳化矽/矽基板。

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