[技術專文]TFT-LCD各製程段玻璃基板裂片檢測設備應用之探討 - 《化合物半導體·光電技術》雜誌

基板的移除與清理也隨影響區域的擴大而增加困難度尤其是真空鍍膜段，故大型玻璃基板製程 作業前的破片檢測益形重要。 玻璃基板破片的檢測機制首重Corner部份，對於靜態基板可於對位(Alignment)後以四個固定式光電Sensor偵測基板四個 ...

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