林庭凱 /金屬工業研究發展中心工程師 近幾年來,台灣的半導體產業產值在全球已佔有相當比例,成為台灣生產結構的重心,但是在半導體設備方面,因發展歷程較短,對於技術層面較高、產值較大的半導
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