[技術] 無塵室(Clean Room)等級標準規格 - 《就是愛上班》的部落格 - udn部落格

『無塵室』為將一定空間範圍內之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等之污染物排除。無塵室的等級是以一立方英呎含有多少大於0.5um的微塵粒子來定義的。下表是根據「美國聯邦標準209D規格」定義的無塵室級數。 一般人大概

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