成大微 奈米 科技研究中心高中職科學教師 奈米 科技研究經驗培育計畫

圖1.標準試片的硬度與楊氏係數 圖2.康寧玻璃試片的硬度與楊氏係數 在鍍膜的機械性質方面，由圖3.矽薄膜的硬度與楊氏係數結果顯示，薄膜壓痕深度在50nm以下，機械性質有隨壓痕深度增加而增加的趨勢，在50nm達最大硬度值約11GPa，與圖2.之康寧玻璃 ...

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