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應用熱壓崁入技術製作電容式壓力感測器 - 大同大學

壓力感測器發展至今已有許多年的歷史,人類利用各種原理與技術製. 作不同型式 壓力感 ... 以微壓力感測器來說,目前主要以壓阻式和電容式為主。電容式壓力. 感測 器 ...

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