應用熱壓崁入技術製作電容式壓力感測器 - 大同大學

MechanicalSystem,MEMS)與熱壓技術製作電容式壓力感器。模具方面可分 ..... 圖6.11 壓力感測器量測實驗圖，圖(a)為壓力表顯示之壓力值50代表. 5.0Psi，圖(b) .... [3]，其主要利用平板電容原理進行量測，受壓力作用時兩平行板間距離改. 變造成電容 ...

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