(急件)關於電漿PECVD和RIE的原理? 贈20點- Yahoo!奇摩知識+

2007年2月28日 - PECVD - Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 電漿輔助化學氣相沈積 電漿輔助化學氣相沈積（PECVD）系統使用電漿的輔助能量，使得沈積 ...

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