(急件)關於電漿PECVD和RIE的原理? 贈20點 - Yahoo!奇摩知識+

請問各位大大!! 1.PECVD 和 RIE電漿原理為何? 2.PECVD 和 PIE 的中文意思為何?例如p代表什麼等等…請各位大大救救我!!越詳細越好^^謝謝大大分享知識!

tw.knowledge.yahoo.com