(急件)蒸鍍與濺鍍的原理? 高手請進贈二十點- Yahoo!奇摩知識+

2007年2月28日 - 本次微機電的實驗為使用濺鍍的方式來進行薄膜沉積。 http://www2.nkfust.edu.tw/~jcyu/Course/MEMS Lab/q.pdf. 蒸鍍. 蒸鍍鍍膜就是在真空中通過電流加熱、電子束轟擊加熱和鐳射加熱等方法，使薄膜 .... 濺鍍機原理與應用為何?

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