微电子材料与制程【第四章矽晶薄膜】 - 半导体技术天地

4-2 矽晶薄膜製程原理及反應機制 ... CVD, SACVD)製程，(3)低壓化學氣相沉積(0.1-10 Torr, Low Pressure CVD, LPCVD)5-9，及(4)超低壓化學氣相 ...

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