微波電漿源技術及應用- 《半導體科技．先進封裝與測試》雜誌

#P#微波電漿原理及發展早於50年代，即有人嘗試，利用微波來產生電漿，當時之設計非常簡單，由於工業界對微波電漿設備之需求，而演變至今多種複雜不同之設計。

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