微波退火非晶硅薄膜低溫晶化研究

放入 微波加熱裝置中, 在N 2 保護下 退火晶化, 微波 加熱裝置 原理如圖1 所示, 主要由 微波發生器、波導 管和加熱腔體等組成, ...

wr.lib.tsinghua.edu.cn