微波退火非晶硅薄膜低溫晶化研究 - 豆丁網

然後將淀積好的Α2Si 薄膜 放入 微波加熱裝置中, 在N 2 保護下 退火晶化, 微波 加熱裝置 原理如圖1 所示, 主要由 ...

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