微機電蝕刻製程氣體的選擇 - 國研院奈米元件實驗室

33 第 九 卷 第 三 期 奈 米 通 訊 前言 微機電系統 ( M i c ro e l e c t ro m e ch a n i c a l s y s t e m ，MEMS) 整合微電子與機械元件，在 光學反應、壓力感測、化學偵測、懸臂震 動、磁場反應等方面提供良好的控制與檢測

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