微機電蝕刻製程氣體的選擇 - 國家奈米元件實驗室

動、磁場反應等方面提供良好的控制與檢測. 應用。由於在不同領域的操作上，有其特殊. 的製程結構與設計要求。利用電漿蝕刻. (Plasma etching) 製程，提供非等向性.

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