微機電系統(英語:Microelectromechanical Systems,縮寫為MEMS)是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術,它的操作範圍在微米範圍內。比它更小的,在納米範圍的類似的技術被稱為奈機電系統。微機電系統在日本被稱作微機械(英語:micromachines ...
zh.wikipedia.org