微機電技術的應用---感測元件 - 國家奈米元件實驗室

奈米通訊. NANO COMMUNICATION 21卷No.2. 39. 微機電技術的應用---感測元件. 感測元件在於現今日常生活中是相當重要且應用. 廣泛的。感測器一直以來被廣泛 ...

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