微機電(MEMS)已經成為行動裝置重要元件,雖然目前大量使用的MEMS元件,主要 以 ... 製作微機電元件之主要材料依出貨比例排名分別為矽、聚合物高分子(Polymer) 及金屬 ... 台灣廠商於微機電市場佈局概況.
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