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微機電元件的雜訊考量

此節由矽基材寄生效應開始討. 論,再提及閃爍雜訊[2-3] 與熱雜訊的影響。必須理解矽基. 材並非絕緣體,結構製作於矽基材上方後,當寄生電容. 大於感測電容時,則有 ...

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