傳統雷射加工受遮閉效應的影響,造成雷射鑽孔的孔徑漸縮(d1> d2 )或雷射切割溝槽的壁面呈斜面,其結果嚴重影響加工精度與深寬比。且多餘的雷射能量積聚在入口處,若加工的材料是陶瓷、玻璃、矽晶片等,則容易造成入口表面破裂或裂紋產生,這是 ...
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