微影術中的解析度 - Yahoo!奇摩知識+

NA：numerical aperture數值孔徑 DOF：depth of focus聚焦深度 RES：resolution解析度 λ：lamda曝光波長 ... 只要關於圖形上的 定義（patterning），皆需要使用微影技術，本文將對一般最常使用的光學微影技術（Optical...

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