微奈米技術實驗室

近年來在光學、精密機械及小型馬達等方面，對加工精密度之要求越來越高達1mm以下程度，綜觀現有的致動器唯有壓電致動器才能合乎此精密度，如表（一）。因而各國無不積極研發壓電式致動器(Piezoelectric Actuator)，它擁有耗電量少、無雜訊、體積小 ...

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