微型環境感測器之設計製作及應用

MEMS)製作微型感測器已成為熱門的研究課題，不僅感測元件. 的體積微小化，隨之 ..... 傳統溼度感測器的感測原理包含:電容式、電阻式、濕氣吸. 附式、測重式及光學 ...

www.ciiad.org