微型感測器及其製法與使用該微型感測器之感測裝置(全文下載)

本發明是有關於一種感測器， 特別是指一種以微機電. 技術製作而成的微型感測器 ... 傳統濕度感測器的感測原理包含:電容式、 電阻式、 濕. 氣吸附式、 測重式及光學式 ...

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