微型加速規之開發 - 逢甲大學

在本文中將設計出一個電容式的微型加速規，它是利用微製程技術並配合體. 型微加工 ...... 在本章節裡我們將依序針對微加速規的種類做介紹，並對其運動方程式、理.

www.fcu.edu.tw