::::::工業技術研究院 產業學習網:::-課程公告-下世代半導體相關Green Device最新CMP技術基礎與應用國際研討會 :::

課程介紹 在最近幾年，邁向多功能、高性能的新綠色元件層出不窮，加上除了Si以外的新材料已經被使用了。特別是領先於功率元件/高頻元件，例如 SiC、GaN、LED用的藍寶石基板。未來，我們在各個領域上，特別是超精密加工流程技術上面臨著追求更 ...

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