工業技術研究院- 技術成果- 大氣壓電漿製程設備

大氣電漿技術係處於常壓的環境中利用高能電場的作用，使中性氣體解離而成為電漿 態，而無需運用價格高昂的真空腔體與真空系統。目前自主開發大氣電漿電漿源 ...

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